公司简介
山东联盛电子设备有限公司成立于2014年5月,生产基地位于山东省高唐高新技术开发区,研发基地位于江苏省无锡市锡山科创园,公司致力于半导体高端湿制程设备研发、生产与销售。公司目前已申请国家专利30多项,其中发明专利9项,是国家高新技术企业,省级专精特新企业。我们产品服务的领域包括硅材料、化合物半导体材料等,主要设备有全自动RCA清洗机、全自动镀镍镀金清洗机、全自动最终清洗机、全自动腐蚀减薄清洗机、全自动去边清洗机、全自动沟槽蚀刻机、全自动二氧化硅蚀刻、炉管清洗机、CVD前清洗机、CDS(SDS)系统、BClean、OxideRemove、Nitride Remove、PR Strip,lift off、ParticleRemove, Solvent Clean、MetalEtch,M2 Clean。