中微半导体设备(上海)股份有限公司中微半导体设备(上海)股份有限公司存续曾用名(1)2026-07-01更新法定代表人 : 尹志尧网站 : www.amec-inc.com电话 : 86-21-61001199前往APP查看更多 (3)邮箱 : IR@amecnsh.com前往APP查看更多 (6)公司简介 : 展开中微半导体设备(上海)股份有限公司是一家以中国为基地、面向全球的高端半导体微观加工设备公司,深耕芯片制造刻蚀领域,研制出了国内第一台电介质刻蚀机,是我国集成电路设备行业的领先企业。公司专注于集成电路、LED关键制造设备,核心产品包括:1)用于IC集成电路领域的等离子体刻蚀设备(CCP、ICP)、深硅刻蚀设备(TSV);2)用于LED芯片领域的MOCVD设备。目前公司等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米的集成电路加工制造及先进封装。公司的MOCVD设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产,公司已成为世界排名前列、国内占主导地位的氮化镓基LED设备制造商。收起A股上海证券交易所上海科创LP中微公司系小微企业公众企业成熟期规模以上工业上市企业连续获投前往APP查看更多